loading

Low energy ion assisted film growth / A. R. González-Elipe, F. Yubero, J. M. Sanz

Tác giả : A. R. González-Elipe, F. Yubero, J. M. Sanz

Nhà xuất bản : Imperial college press

Năm xuất bản : 2003

Nơi xuất bản : Singapore

Mô tả vật lý : 283 p.

ISBN : 1860943519

Số phân loại : 539.72

Chủ đề : 1. Biến đổi Ion. 2. Hạt (vật lý hạt nhân). 3. Ion exchange. 4. Particles (Nuclear physics). 5. Bức xạ Ion.

Thông tin chi tiết

Tóm tắt :

This is an introductory manual for Ion Assisted Deposition (IAD) procedures of thin films. It is addressed to researchers, post-graduates and even engineers with little or no experience in the techniques of thin film deposition. It reviews the basic concepts related to the interaction of low energy ion beams with materials. The main procedures used for IAD synthesis of thin films and the main effects of ion beam bombardment on growing films, such as densification, stress, mixing, surface flattening and changes in texture are critically discussed. A description of some of the applications of IAD methods and a review of the synthesis by IAD of diamond-like carbon and cubic-boron nitride complete the book.

 Thông tin dữ liệu nguồn

 Thư viện  Ký hiệu xếp giá  Dữ liệu nguồn
Thư viện đại học Cần Thơ
https://lrcopac.ctu.edu.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-211367.html