
Chế tạo và khảo sát các đặc trưng cấu trúc, điện, quang của màng a-Si:H pha tạp bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa tăng cường Plasma (PECVD) : : Luận văn Thạc sĩ Vật lý chuyên ngành Vật lý Kỹ thuật / Phạm Hoài Phương ; Trần Quang Trung ( Hướng dẫn khoa học)
Tác giả : Phạm Hoài Phương ; Trần Quang Trung ( Hướng dẫn khoa học)
Nhà xuất bản : Trường Đại học Cần Thơ
Năm xuất bản : 2011
Nơi xuất bản : Cần Thơ
Mô tả vật lý : xi, 68 tr. : Minh hoạ ; 30 cm
Số phân loại : 537.622
Chủ đề : 1. Chất bán dẫn. 2. Semiconductors. 3. Màng a-Si. 4. Vật lý kỹ thuật.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Đề tài nghiên cứu về vật liệu bán dẫn silic, và Si:H, tìm hiểu về tính chất quang và tính chất điện của màng Si:H, tìm hiểu phương pháp lằng đọng hóa học CVD và PECVD. Nghiên cứu cách chế tạo và đo đạc xác định các tính chất quang điện, điện và cấu trúc của màng Si:H và Si:H pha tạp P. Đánh giá các điều kiện chế tạo và tìm ra điều kiện chế tạo mẫu tối ưu. |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
|
https://lrcopac.ctu.edu.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-166858.html |