
Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control / Gary S. May, Costas J. Spanos
Tác giả : Gary S. May, Costas J. Spanos
Nhà xuất bản : Wiley-Interscience
Năm xuất bản : 2006
Nơi xuất bản : Hoboken, N.J.
Mô tả vật lý : xix, 463 p. : ill. ; 25 cm
ISBN : 0471784060
Số phân loại : 621.38152
Chủ đề : 1. Integrated circuits -- Design and construction. 2. Process control -- Statistical methods. 3. Semiconductors -- Design and construction. 4. Thiết kế mạch điện bán dẫn.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control covers all issues involved in manufacturing microelectronic devices and circuits, including fabrication sequences, process control, experimental design, process modeling, yield modeling, and CIM/CAM systems. Readers are introduced to both the theory and practice of all basic manufacturing concepts. |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
|
https://lrcopac.ctu.edu.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-124115.html |