
Beam technologies for integrated processing : : Report of the Committee on Beam Technologies: Opportunities in Attaining Fully-Integrated Processing Systems, National Materials Advisory Board, Commission on Engineering and Technical Systems, National Research Council.
Nhà xuất bản : National Academy Press
Năm xuất bản : 1992
Nơi xuất bản : Washington
Mô tả vật lý : 89 p. ; 27 cm
Số phân loại : 621.381
Chủ đề : 1. Microelectronics industry. 2. Molecular beams -- Industrial applications. 3. Công nghiệp vi điện tử.
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
|
https://lrcopac.ctu.edu.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-98796.html |