
Development of a FeBNdNb magnetic metallic glass thin film and its application to magnetic MEMS: Doctor of Philosophy in Nanomechanics/ Phan Anh Tuan
Tác giả : Phan Anh Tuan
Năm xuất bản : 2012
Nơi xuất bản : Sendai
Mô tả vật lý : xviii, 161 p.: ill.; 30 cm 1 resume
Số phân loại : 669.94
Chủ đề : 1. Linh kiện vi điện tử. 2. Màng mỏng. 3. Thuỷ tinh kim loại. 4. Từ tính. 5. 7. 6. 7.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc tính của màng mỏng thuỷ tinh kim loại mới FeBNdNb trên đế silic bằng phương pháp phun xạ chùm ion cộng hưởng cyclotron điện tử với độ cứng và sức bền cao, qua đó đề xuất các ứng dụng trong linh kiện MEMS từ tính |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
LA12.1645.1, LA12.1645.2, LA12.1645.3 |
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-637794.html |