
Thiết kế và chế tạo các bộ vi chấp hành dựa trên công nghệ vi cơ điện tử MEMS : Sách chuyên khảo dùng cho sinh viên, học viên cao học, nghiên cứu sinh các ngành kỹ thuật / Phạm Hồng Phúc (ch.b.), Nguyễn Tiến Dũng, Hoàng Trung Kiên
Tác giả : Phạm Hồng Phúc (ch.b.), Nguyễn Tiến Dũng, Hoàng Trung Kiên
Nhà xuất bản : Khoa học và Kỹ thuật
Năm xuất bản : 2020
Nơi xuất bản : H.
Mô tả vật lý : 167tr. : hình vẽ, bảng ; 24cm
ISBN : 9786046717263
Số phân loại : 621.381
Chủ đề : 1. Điện tử. 2. Sách chuyên khảo. 3. Vi cơ học.
Thông tin chi tiết
Tóm tắt : | Giới thiệu về bộ vi chấp hành MEMS; thiết kế bộ vi chấp hành kiểu tĩnh điện răng lược; thiết kệ bộ vi chấp hành kiểu điện nhiệt chữ V; công nghệ chế tạo các bộ vi chấp hành; mô hình hoá và điều khiển bộ vi chấp hành |
Thông tin dữ liệu nguồn
Thư viện | Ký hiệu xếp giá | Dữ liệu nguồn |
---|---|---|
![]() |
DL.014398, ML.012701 |
https://tracuuthuvien.angiang.gov.vn/Item/ItemDetail/97206?siteid=2 |
![]() |
VV 5275/2023, VV 5276/2023 |
https://phucvu.thuvientphcm.gov.vn//Item/ItemDetail/785640?siteid=2 |
![]() |
|
https://opac.nlv.gov.vn/pages/opac/wpid-detailbib-id-818203.html |